一种测量束流的法拉第装置

专利号：CN201310303660.2

公布日：2014-05-14

申请人：北京中科信电子装备有限公司

一种平行束角度测量法拉第装置

专利号：CN200710175968.8

公布日：2009-04-22

申请人：北京中科信电子装备有限公司

法拉第杯组件及其离子束注入角度的测量方法、装置

专利号：CN201910727088.X

公布日：2019-11-05

申请人：德淮半导体有限公司

一种法拉第屏蔽装置、等离子体刻蚀系统及其使用方法

专利号：CN202010470678.1

公布日：2021-12-03

申请人：北京鲁汶半导体科技有限公司

一种等离子体刻蚀系统及其可用于加热的法拉第屏蔽装置

专利号：CN202020935358.4

公布日：2020-11-17

申请人：北京鲁汶半导体科技有限公司

同位素比质谱仪中的检测器和狭缝配置

专利号：CN201610663803.4

公布日：2019-04-05

申请人：塞莫费雪科学(不来梅)有限公司

一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置

专利号：CN200620008177.7

公布日：2007-05-30

申请人：北京中科信电子装备有限公司

一种简易法拉第结构及应用该结构的法拉第系统

专利号：CN201510741645.5

公布日：2018-08-14

申请人：北京中科信电子装备有限公司

半导体工艺设备

专利号：CN202111113577.X

公布日：2022-01-07

申请人：北京北方华创微电子装备有限公司

一种法拉第片中心波长测量系统

专利号：CN202211743503.9

公布日：2023-05-09

申请人：珠海光库科技股份有限公司

法拉第旋转反射镜及光纤干涉仪

专利号：CN201410146502.5

公布日：2014-06-25

申请人：珠海保税区光联通讯技术有限公司

一种测量电子束束斑尺寸的测量装置

专利号：CN201120326643.7

公布日：2012-05-30

申请人：上海显恒光电科技股份有限公司

法拉第系统和包括该法拉第系统的离子注入设备

专利号：CN200610084625.6

公布日：2007-03-28

申请人：三星电子株式会社

一种帽型法拉第环结构

专利号：CN202320841941.2

公布日：2023-09-15

申请人：黄俊达

一种基于微通道板的飞行时间质谱仪检测器

专利号：CN201020634520.5

公布日：2011-08-24

申请人：中国科学院大连化学物理研究所